Actualment, les fàbriques d'objectius de sputtering més grans del món produeixen objectius de sputtering d'aliatge d'alumini mitjançant dos processos separats. format mitjançant l'emmotllament per polvorització. D'acord amb tècniques de fosa i forja reconegudes, l'addició de materials d'aliatge durant la producció d'objectius de pulverització d'aliatge d'alumini sovint provoca la segregació dels objectius, que al seu torn redueix la qualitat de les pel·lícules de pulverització i és probable que es formin micropartícules. a la superfície de l'objectiu de sputtering, que també alterarà la distribució uniforme de les característiques de la pel·lícula.
Tot i que es poden evitar els problemes relacionats esmentats anteriorment, si l'objectiu de pulverització d'aliatge d'alumini es fabrica mitjançant el conegut procés de formació de polvorització, encara produirà l'objectiu de pulverització. El cost de producció s'incrementa significativament, sobretot quan es fabriquen alguns objectius de pulverització que són difícils de forjar i requereixen l'ús d'una igualació en calent.
Aquesta tècnica utilitza pols de polvorització de gas per crear objectius de pulverització d'aliatge d'alumini, cosa que fa que la producció d'objectius d'aliatge de titani-alumini sigui més senzilla i menys costosa. La pols d'aliatge es garbella en comparació amb la pols de matèria primera de l'objectiu de pols per obtenir la mida de partícula de pols adequada, i després la pols es premsa al buit en calent per crear l'objectiu de pols d'aliatge d'alumini. La creació de diferents objectius de pols d'aliatge d'alumini (alumini- crom, alumini-silici-coure, alumini-titani, etc.) es pot aconseguir mitjançant aquest mètode de producció d'objectius de pulverització d'aliatge d'alumini amb pols d'aire.
El procediment recomanat per a la implementació és proporcionar primer matèries primeres metàl·liques per a la fabricació d'objectius de pulverització d'aliatges d'alumini i fondre'ls en metall fos; a continuació, feu pols metàl·liques a partir del metall fos mitjançant el mètode de polvorització de gas; i finalment, escalfeu les pols metàl·liques mitjançant el buit. format en un aliatge d'alumini que sputtering i passarà a través d'un gas inert com a gas protector. Aquest procés pot produir objectius de sputtering d'alta qualitat de manera més ràpida i assequible, evitant els inconvenients de la segregació del material i les micropartícules.
