Quins tipus de materials objectiu hi ha? Primera part

Quins són els materials objectiu?

Target és en realitat un concepte ampli. Hi ha tres maneres de classificar els materials objectiu:

1. Segons les dimensions externes, es pot dividir en objectius cilíndrics, rectangulars, de placa quadrada i objectius de tub. Segons el material, els materials objectiu es poden dividir en objectius metàl·lics, objectius no metàl·lics de ceràmica de polímer i objectius d'aliatge, etc.;

2. Segons el material, els materials objectiu es poden dividir en objectius de metall convencionals, objectius de metalls preciosos, objectius de metalls de terres rares, objectius no metàl·lics, objectius de pulverització d'aliatges, objectius de pulverització ceràmica, etc.;

3. Segons el camp d'aplicació, es pot dividir en objectius per a semiconductors, objectius per a panells de visualització, objectius per a cèl·lules solars, objectius per a enregistrament magnètic, etc.

Classificació per forma de destinació

Els objectius comuns són principalment objectius quadrats i objectius rodons, que són objectius sòlids. En l'operació de recobriment, el camp magnètic generat per l'imant permanent circular a la superfície de l'objectiu és anular, es produirà una erosió desigual, la uniformitat del gruix de la pel·lícula pulveritzada no és bona i l'eficiència d'utilització de l'objectiu és només d'uns 20. % al 30%. L'objectiu del tub buit que es promou actualment pot girar al voltant d'un conjunt d'imants de barra fixa durant un període de temps determinat, i la superfície de l'objectiu de 360 ​​graus es pot gravar de manera uniforme, cosa que té avantatges evidents i augmenta la taxa d'utilització fins al 80%.

Classificació per material objectiu

Objectius metàl·lics convencionals: